Российский 350-нм фотолитограф оценили в 500 млн рублей

Как стало известно CNews, стоимость первого российского литографа «Прогресс СТП-350» в конце 2025 г. составляла примерно 392 млн руб. без НДС.

Этот литограф с длиной волны 354,7 нм выпускает «Зеленоградский нанотехнологического центра» («ЗНТЦ»). Фото — из официального ТГ-канала Сергей Собянина.

Его цена отражена в коммерческом предложении, сделанном одной из российских компаний — производителей микроэлектроники.

В стоимость системы входят доставка до местоположения заказчика, установка оборудования и обучение персонала на территории покупателя.

Срок изготовления и поставки оборудования составляет 18 месяцев со дня оплаты аванса. Размер аванса — 50% от стоимости литографа, следует из документа.

Производительность оборудования — составит 63 пластины диаметром 150 мм в час или 43 пластины диаметром 200 мм.

Согласно тому же коммерческому предложению, цена расширенного гарантийного обслуживания литографа составит 58 млн руб., а стоимость дополнительных пяти лет гарантии — 111 млн руб.

Таким образом цена литографа с продленным сроком гарантии превышает полмиллиарда и составляет 561 млн руб. без НДС.

Расширенная гарантия на литограф длится два года. В нее входят «комплексное покрытие надежности системы», включая ремонт, дистанционную диагностику и т.д.

Допгарантия действует пять лет на все системы за исключением расходных материалов и фотошаблонов. Гарантийный период составляет 12 месяцев для основного оборудования и для запасных частей, а также расходных материалов.

Помимо можно приобрести дополнительные модули: активную виброзащиту за 40 млн руб. и комплект из 24 фотошаблонов за 12 млн руб. (обе цены без НДС).

В случае отмены заказа аванс «ЗНТЦ» не возвращает, следует из документа. И если заказчик откажется от оборудования после его изготовления и готовности к отгрузке, то с него взимается 100% стоимости договора.

«ЗНТЦ» намеревается поставить свой литограф и в «Элемент».

Ответ «ЗНТЦ»
«В настоящее время мы заключили договора на отложенную поставку, — отмечает представитель «ЗНТЦ». — Данные договора не разглашаем». По его словам, стоимость самого оборудования обусловлена стоимостью материалов, комплектующих и работ. В компании подчеркивают, что стоимость оборудования «является конкурентоспособной по соотношению к аналогичному зарубежному оборудованию».

Вопрос стоимости сервисного обслуживания пока не проработан, подчеркивают в «ЗНТЦ».

«Стоимость очень привлекательная, существенно, на десятки процентов ниже, чем у зарубежных вариантов оборудования на 350 нанометров», — рассказал независимый эксперт и автор Telegram-канала RUSmicro Алексей Бойко.

С ним согласны и два собеседника CNews на рынке микроэлектроники. «Эта цена сопоставима с иностранными аналогами», — говорит один из них.

Но есть и иное мнение.

«С точки зрения мировой рыночной экономики — крайне завышенная стоимость за предлагаемые технические характеристики, — говорит глава «Троичных технологий» Александр Тимошенко. — С точки зрения логики импортозамещения в условиях жестких технологических санкций — вероятно, обоснованная и необходимая цена за создание собственной базовой компетенции в области фотолитографии, даже на уровне 350 нм. Это плата за технологический суверенитет».

Разработка велась совместно с белорусской компанией «Планар» в рамках тендеров Минпромторга, выигранных ЗНТЦ в 2021 г. Работы по литографу были завершены весной 2025 г. Сейчас идет работа над следующим поколением — оборудованием с разрешением 130 нм.

Литограф имеет рабочее поле с площадью 22 х 22 мм и способен обрабатывать пластины, имеющие диаметр в 200 мм.

Рабочая длина волны установки составляет 365 нм. Срок ее службы составляет не менее пяти лет, а вес — 3500 кг.

Как писал CNews в сентябре 2025 г., стоимость литографа «ЗНТЦ» с длиной волны 130 нм составит $6 млн. Производитель обещает скорость обработки пластин от 100 до 140 пластин в час.

Например, такая же установка нидерландской ASML, которая занимает 45% рынка, стоит $15 млн. И обрабатывает 180 пластин в час. Оборудование Nikon (25% рынка) стоит $12 млн и способно обрабатывать 150 пластин в час. Оборудование компании Canon, у которой 20% рынка, стоит $10 млн. И обрабатывает 140 пластин в час. Такая же установка от SMEE обойдется в $8 млн и способна обработать 120 пластин в час.

Сообщение Российский 350-нм фотолитограф оценили в 500 млн рублей появились сначала на Время электроники.