В МИЭТ разработали виртуальные производственные участки
Специалисты Института цифрового дизайна и лаборатории ПИШ «Киберфизическое прототипирование специального технологического оборудования» разработали виртуальные высокотехнологичные производственные участки «Фотолитография» и «Ионная имплантация», спроектированные с использованием программно-аппаратных средств виртуальной реальности. Проекты выполнены в партнерстве с АО «Микрон» ( ГК «Элемент») в рамках Программы ПИШ МИЭТ.
Программные комплексы включают в себя интерактивные виртуальные пространства технологических участков процессов фотолитографии и ионной имплантации, а также интерактивные киберфизические модели оборудования, обеспечивающие симуляцию технологических процессов в реальном времени.
В комплекс «Фотолитография» входят:
- трек для нанесения и проявления фоторезиста (с симуляцией двух разных процессов на одной установке)
- сканер фотолитографии
- установка для контроля рассовмещения топологических слоев
- электронный микроскоп для контроля линейных размеров
- установка оптического (визуального) контроля пластин
- Комплекс «Ионная имплантация» содержит:
- модели установки ионной имплантации
- установки быстрого термического отжига
- дефектоскопа
- установки контроля дозы
- установки контроля привносимой дефектности
Разработанные виртуальные комплексы обеспечивают работу в нескольких режимах: демонстрация виртуального производственного участка с оборудованием (виртуальная экскурсия), интерактивное изучение оборудования и технологических процессов в режиме реального времени, самостоятельная работа на виртуальных производственных участках в режиме реального времени.
Сообщение В МИЭТ разработали виртуальные производственные участки появились сначала на Время электроники.