Создана сверхточная технология травления для индустрии полупроводников

Разработка DirectDrive заняла у компании примерно 20 лет, https://interestingengineering.com/innovation/directdrive-pl... IE. В 2006 году инженеру из Калифорнийского университета Патрику Прибилу пришло в голову, как лучше управлять плазмой в процессе травления полупроводников. Он разработал устройство быстрого переключения энергии радиочастот, которая направляет плазму, что позволило гораздо точнее контролировать травление. Для проверки работоспособности концепции Прибил на собственной кухне собрал опытный образец системы переключения радиочастот.

Однако, несмотря на многообещающий характер этого подхода, компании не были готовы принять его. Лежащая в его основе научная основа была недостаточно развита, и превращение кухонного прототипа в надежную промышленную технологию потребовало бы слишком многих лет работы. Однако Прибил не сдался. В сотрудничестве с физиком Уолтером Гекельманом он получил финансирование и нашел оборудования для продолжения работы над системой переключения радиочастот.

Еще десять лет Прибил и его команда работали с лазерами и самостоятельно спроектированным оборудованием. Они измеряли поведение ионов под действием плазменных импульсов и отмечали изменения в их свойствах (связанных с движением и плотностью). В ходе экспериментов исследователи обнаружили, что быстрые импульсы обеспечивали намного лучший контроль над поведением плазмы, чем постоянное воздействие радиочастот. Новый метод меняет уровень мощности плазмы всего за 50 микросекунд, т. е., в десятки тысяч раз быстрее, чем раньше.

«DirectDrive, первый в отрасли твердотельный генератор плазмы, производит плазму с чувствительностью в 100 раз выше, чем у предыдущих источников, что приводит к меньшему количеству дефектов формирования рисунка в глубоком ультрафиолете», — говорится в пресс-релизе компании.

Следующим шагом станет повышение эффективности метода.

Долгое время ученые не могли понять, как ферроэлектрические полупроводники могут поддерживать две противоположные электрические поляризации, не распадаясь. Ответ https://hightech.plus/2025/05/06/raskrit-sekret-strannih-pol... ученые из США.