Российское предприятие получило литограф отечественного производства

Компания «Отраслевые решения», принадлежащая группе «Элемент», получила первый отечественный литограф, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ). Машина имеет разрешение 350 нанометров (нм).

«Отраслевые решения» специализируется на локализации производства силовой электроники, используемой в энергетике, машиностроении, приборостроении, авиации и других отраслях. Литографическая машина предназначена для переноса рисунка с фотошаблона на полупроводниковую пластину для создания сверхбольших интегральных схем (СБИС) с длиной волны 350 нм, что применяется в силовой электронике, автомобильных системах и промышленности.

ЗНТЦ совместно с белорусской компанией «Планар» разработали литограф в рамках конкурса, объявленного Министерством промышленности и торговли в 2021 году. Проект успешно завершился весной 2025 года. Также ведутся работы по созданию машины с разрешением 130 нм.

Текущий литограф имеет рабочую зону 22 мм x 22 мм и обрабатывает пластины диаметром 200 мм. Машина работает на длине волны 365 нм и рассчитана на эксплуатацию не менее пяти лет, при этом весит 3500 кг.

«"Элемент" — крупнейший производитель российской микроэлектроники. Компания была создана в 2019 г. на базе активов АФК "Система" и "Ростеха". В группы вошли крупнейший производитель чипов в России — зеленоградский "Микрон", НИИ электронной техники, НИИ электронной и микроэлектронной аппаратуры "Прогресс", а также завод полупроводниковых приборов, "ВЗПП-Микрон" (Воронежский завод полупроводниковых приборов) и другие компании», — сказано в сообщении компании.