Развитию полупроводниковых техпроцессов послужат углеродные нанотрубки

Дальнейшее снижение масштабов полупроводниковых техпроцессов немыслимо без использования сканеров диапазона EUV. Эти сканеры будут как наращивать мощность для увеличения скорости обработки кремниевых пластин, так и повышать оптическое разрешение. Но с этим связан целый ворох технических проблем, решить которые обещают учёные из исследовательского бельгийского центра Imec. Плёнка из углеродных нанотрубок для защиты фотошаблонов от загрязнения и выгорания при EUV-проекции (Imec)